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普发真空泵的选择

 
      选用普发真空泵时,需要注意下列事项:
      1、普发真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的普发真空泵的极限真空度至少要2mmHg,蕞好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
      2、正确地选择普发真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环普发真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
      3、普发真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
      4、正确地组合普发真空泵。由于普发真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的普发真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的普发真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
      
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